Ершова Н. Ю.
заведующая кафедрой информационно-измерительных систем и физической электроники
Воронин А. В.
Ректор
2020-07-02
2725527
240.000000000000
Способ разделения пластины, содержащей множество кристаллов, герметизированных слоем компаунда, на отдельные микросхемы
Роспатент
Осуществлена государственная регистрация
Изобретение
РОССИЯ