Вячеслав
Демин
Александрович
Заместитель Главного ученого секретаря Центра
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
-
-
-
-
РОССИЯ
Илья
Еремин
Игоревич
Главный ученый секретарь Центра
РОССИЯ
2020-12-15
320/2020
0.000000000000
Способ формирования меток совмещения для электронно-лучевой литографии
Иное
Установлен режим коммерческой тайны
Секрет производства (ноу хау)
РОССИЯ