Андрей
Шарапов
Анатольевич
аспирант
Отсутствует
Отсутствует
ABC-7256-2021
-
0000-0001-9945-3875
РОССИЯ
Андрей
Шарапов
Анатольевич
аспирант
РОССИЯ
2021-08-03
2021662653
Инструмент для оценки количественных характеристик шероховатости наноструктур по пространственному распределению засветки резиста (LER Simulator)
Роспатент
Осуществлена государственная регистрация
Программа для ЭВМ
РОССИЯ