Курнаев В.А.
заведующий кафедрой, профессор
Каргин Н.И.
проректор
2018-12-14
2674997
240.000000000000
Способ удаления углеродсодержащих слоев и пыли из вакуумных камер плазменных установок
Роспатент
Осуществлена государственная регистрация
Изобретение
РОССИЯ