Андрей
Демидов
Александрович
гнс
Доктор физико-математических наук
Доцент
B-8234-2012
7004500139
140403
0000-0002-8639-3575
РОССИЯ
Олег
Федонин
Николаевич
Ректор
РОССИЯ
2020-07-23
198723
116.000000000000
Маска для ионного легирования в пластины карбида кремния алюминием
Роспатент
Осуществлена государственная регистрация
Полезная модель
РОССИЯ