Лютова Е. С.
Науч. сотр.
Кандидат технических наук
Ворожцов А.Б.
Проректор по НИД
2020-04-21
2719580
240.000000000000
Способ получения тонкопленочных материалов на основе оксидов кремния, фосфора, кальция и магния
Роспатент
Осуществлена государственная регистрация
Изобретение
РОССИЯ