Сергей
Чепкасов
Юрьевич
Младший научный сотрудник
Отсутствует
Отсутствует
AAR-1005-2020
57192072789
1075312
https://research.nsu.ru/ru/persons/schepkasov
0000-0001-9462-0259
РОССИЯ
Дмитрий
Чуркин
Владимирович
проректор по научно-исследовательской деятельности
РОССИЯ
2021-12-29
52
36.000000000000
Способ и устройство управления концентрацией азота в плёнках AlN, получаемых при магнетронном распылении
Иное
Установлен режим коммерческой тайны
Секрет производства (ноу хау)
РОССИЯ