2024-03-19
2815615
240.000000000000
Способ создания высокоаспектных протяженных структур с диаметрами субмикронных размеров в диэлектрическом кристалле фемтосекундными рентгеновскими импульсами
Роспатент
Осуществлена государственная регистрация
Изобретение
РОССИЯ